Высокочистый 99,8% титан класса 7, мишени для распыления мишеней из сплава ти для поставщика фабрики по нанесению покрытий
Параметры продукта
Название продукта | Титановая мишень для машины для нанесения покрытия PVD |
Оценка | Титан (Гр1, Гр2, Гр5, Гр7,ГР12)Мишень из сплава: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr и т. д. |
Источник | Город Баоцзи, провинция Шэньси, Китай |
Содержание титана | ≥99,5 (%) |
Содержание примесей | <0,02 (%) |
Плотность | 4,51 или 4,50 г/см3 |
Стандартный | АСТМ Б381; АСТМ Ф67, АСТМ Ф136 |
Размер | 1. Круглая мишень: Ø30-2000 мм, толщина 3,0-300 мм;2. Тарге пластины: Длина: 200-500 мм Ширина: 100-230 мм Толщина: 3-40 мм;3. Цель трубки: Диаметр: 30-200 мм, толщина: 5-20 мм, длина: 500-2000 мм;4. Доступны индивидуальные настройки. |
Техника | Кованые и обработанные на станке с ЧПУ |
Приложение | Разделение полупроводников, материалы пленочных покрытий, покрытие электродов для хранения, напыление покрытий, покрытие поверхностей, промышленность по нанесению покрытий на стекло. |
Химические требования к титановой мишени
АСТМ Б265 | ГБ/Т 3620,1 | ДЖИС Х4600 | Элементарное содержание (≤мас.%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | Другие | ||||
Титан Чистый | Гр.1 | ТА1 | Класс1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
Гр.2 | ТА2 | Класс2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
ТитанСплав | Гр.5 | ТС4Ти-6Ал-4В | Класс60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Ал:5,5-6,75 В:3,5-4,5 |
Гр.7 | ТА9 | Класс12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Пд:0,12-0,25 | |
гр.12 | ТА10 | Класс60Е | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Пн:0,2-0,4 Ни: 0,6-0,9 |
Продольные механические свойства при комнатной температуре
Оценка | Предел прочностиRм/МПа(>=) | Предел текучестиRp0.2(МПа) | УдлинениеА4Д(%) | Уменьшение площадиZ(%) |
Гр1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
гр2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
гр5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
гр7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
гр12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Титановые мишени для распыления
Общий размер титановой мишени для распыления: 100*40, 98*40, 95*45, 90*40, 85*35, 65*40 и т. д.
Также можно настроить в соответствии с запросами или чертежами клиента.
Целевые требования: высокая чистота, однородность кристаллических зерен и хорошая компактность.
Чистота: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Процесс производства титановой мишени
титановая губка --- переплавка в титановый слиток --- испытание --- резка слитка --- ковка --- прокатка --- шелушение --- выпрямление --- ультразвуковая дефектоскопия --- упаковка
Титановая мишень
1. Низкая плотность и высокая прочность
2. Отличная коррозионная стойкость
3. Хорошая устойчивость к воздействию тепла.
4. Отличная устойчивость к криогенным свойствам.
5. Немагнитный и нетоксичный
6. Хорошие тепловые свойства.
7. Низкий модуль упругости.