Высокочистый титан марки 99,8%, 7 круглых мишеней для магнетронного распыления, мишени из титанового сплава для нанесения покрытий, поставщик для завода.
Параметры продукта
| Название продукта | Титановая мишень для установки для нанесения PVD-покрытия |
| Оценка | Титан (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Цель из сплава: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr и т. д. |
| Источник | Город Баоцзи, провинция Шэньси, Китай |
| Содержание титана | ≥99,5 (%) |
| Содержание примесей | <0,02 (%) |
| Плотность | 4,51 или 4,50 г/см³ |
| Стандарт | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
| Размер | 1. Круглая мишень: Ø30–2000 мм, толщина 3,0 мм–300 мм;2. Метеорологическая плита: Длина: 200-500 мм, ширина: 100-230 мм, толщина: 3-40 мм;3. Целевая трубка: Диаметр: 30-200 мм, Толщина: 5-20 мм, Длина: 500-2000 мм;4. Возможна индивидуальная настройка. |
| Техника | Кованые и обработанные на станках с ЧПУ |
| Приложение | Разделение полупроводников, материалы для пленочных покрытий, покрытие электродов хранения, напыление, поверхностные покрытия, стекольная промышленность. |
Химические требования к титановой мишени
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Содержание элементов (≤ мас.%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | Другие | ||||
| Чистый титан | Группа 1 | ТА1 | Класс 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0.20 | 0,18 | / |
| 2 класс | ТА2 | Класс 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0.30 | 0,25 | / | |
| ТитанСплав | 5 класс | TC4Ти-6Аль-4В | Класс 60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0.2 | Al:5,5-6,75 V:3.5-4.5 |
| 7 класс | ТА9 | Класс 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0.30 | 0,25 | Pd:0.12-0.25 | |
| 12 класс | ТА10 | Класс 60Е | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0.30 | 0,25 | Мо:0,2-0,4 Ni:0,6-0,9 | |
Продольные механические свойства при комнатной температуре
| Оценка | Предел прочностиRm/MPa(>=) | Предел текучестиRp0.2(МПа) | УдлинениеA4D (%) | Сокращение площадиZ(%) |
| Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| 12 класс | 485 | 345 | 18 | 25 |
Титановые мишени для распыления
Типичные размеры титановых мишеней для магнетронного распыления: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 и т. д.
Также возможна индивидуальная настройка по запросу или чертежам заказчика.
Целевые требования: высокая чистота, однородные кристаллические зерна и хорошая плотность.
Чистота: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Процесс производства титановых мишеней
титановая губка --- выплавка в титановый слиток --- проверка --- резка слитка --- ковка --- прокатка --- шелушение --- выпрямление --- ультразвуковая дефектоскопия --- упаковка
Характеристики титановой мишени
1. Низкая плотность и высокая прочность в соответствии со спецификациями.
2. Превосходная коррозионная стойкость
3. Хорошая устойчивость к воздействию тепла.
4. Превосходные характеристики для криогенных систем.
5. Немагнитный и нетоксичный.
6. Хорошие тепловые свойства
7. Низкий модуль упругости
Сопутствующие товары
-
Высокочистый круглый материал 3N5 (99,95%) с содержанием молибдена 99,95%...
Параметры продукта Торговая марка HSG Metal Номер модели HSG-moly Целевой класс MO1 Температура плавления (°C) 2617 Технология обработки Спекание/Ковка Форма Детали специальной формы Материал Чистый молибден Химический состав Mo:> =99,95% Сертификат ISO9001:2015 Стандарт ASTM B386 Поверхность Яркая и шлифованная Плотность поверхности 10,28 г/см³ Цвет Металлический блеск Чистота Mo:> =99,95% Применение PVD-покрытие в стекольной промышленности, ионном осаждении...
-
Ниобиевая мишень
Параметры изделия Спецификация Наименование Полированная ниобиевая мишень ASTM B393 9995 для промышленного применения Стандарт ASTM B393 Плотность 8,57 г/см³ Чистота ≥99,95% Размер по чертежам заказчика Контроль качества Химический состав, механические испытания, ультразвуковой контроль, определение внешнего вида и размеров Марка R04200, R04210, R04251, R04261 Полировка, шлифовка поверхности Технология спекания, прокатки, ковки Особенности Высокотемпературная стойкость...
-
Вольфрамовая мишень
Параметры продукта Название продукта Мишень для магнетронного распыления вольфрама (W) Марка W1 Доступная чистота (%) 99,5%, 99,8%, 99,9%, 99,95%, 99,99% Форма: пластина, круглая, вращающаяся, трубка/трубка Спецификация По требованию заказчика Стандарт ASTM B760-07, GB/T 3875-06 Плотность ≥19,3 г/см³ Температура плавления 3410 °C Атомный объем 9,53 см³/моль Температурный коэффициент сопротивления 0,00482 I/℃ Теплота сублимации 847,8 кДж/моль (25 °C) Скрытая теплота плавления 40,13±6,67 кДж/моль...
-
Танталовая мишень
Параметры продукта Название продукта: мишень из высокочистого тантала Материал Тантал Чистота 99,95% мин. или 99,99% мин. Цвет Блестящий серебристый металл, очень устойчивый к коррозии. Другое название Мишень из тантала Стандарт ASTM B 708 Размер Диаметр >10 мм * толщина >0,1 мм Форма Плоская Минимальный заказ 5 шт. Срок доставки 7 дней Используемые установки для напыления Таблица 1: Химический состав ...