Высокочистый титан 99,8% класса 7, мишени для распыления, мишень из титанового сплава для завода по нанесению покрытий
Параметры продукта
Название продукта | Титановая мишень для машины для нанесения покрытия PVD |
Оценка | Титан (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7,GR12)Цель из сплава: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr и т. д. |
Источник | Город Баоцзи, провинция Шэньси, Китай |
Содержание титана | ≥99,5 (%) |
Содержание примесей | <0,02 (%) |
Плотность | 4,51 или 4,50 г/см3 |
Стандарт | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
Размер | 1. Круглая мишень: Ø30--2000 мм, толщина 3,0 мм--300 мм;2. Плоская мишень: Длина: 200-500 мм Ширина: 100-230 мм Толщина: 3--40 мм;3. Трубка целевая: Диаметр: 30-200 мм Толщина: 5-20 мм Длина: 500-2000 мм;4. Возможно изготовление на заказ |
Техника | Кованые и обработанные на станке с ЧПУ |
Приложение | Разделение полупроводников, материалы для пленочных покрытий, покрытия для электродов хранения, напылительные покрытия, покрытия поверхностей, отрасли по нанесению покрытий на стекло. |
Химические требования к титановой мишени
ASTM B265 | ГБ/Т 3620.1 | JIS H4600 | Элементный состав (≤wt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | Другие | ||||
Чистый титан | Гр.1 | ТА1 | Класс1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0.20 | 0,18 | / |
Гр.2 | ТА2 | Класс2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0.30 | 0,25 | / | |
ТитанСплав | Гр.5 | ТС4Ti-6Al-4V | Класс60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0.2 | Ал:5.5-6.75 В:3.5-4.5 |
Гр.7 | ТА9 | Класс12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0.30 | 0,25 | Пд:0,12-0,25 | |
Гр.12 | ТА10 | Класс60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0.30 | 0,25 | Мо:0,2-0,4 Ni:0,6-0,9 |
Продольные механические свойства при комнатной температуре
Оценка | Предел прочностиРм/МПа(>=) | Предел текучестиRp0.2(МПа) | УдлинениеА4Д(%) | Уменьшение площадиЗ(%) |
Гр1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Гр2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Гр5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Гр12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Титановые мишени для распыления
Обычный размер мишени для распыления титана: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 и т. д.
Также можно изготовить по индивидуальному заказу в соответствии с пожеланиями или чертежами заказчика.
Целевые требования: высокая чистота, однородные кристаллические зерна и хорошая компактность.
Чистота: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Процесс производства титановых мишеней
титановая губка --- выплавка в титановый слиток --- испытание --- резка слитка --- ковка --- прокатка --- очистка --- правка --- ультразвуковая дефектоскопия --- упаковка
Характеристики титановой мишени
1. Низкая плотность и высокая прочность
2. Отличная коррозионная стойкость
3. Хорошая устойчивость к воздействию тепла
4. Отличные свойства криогеники
5. Немагнитный и нетоксичный
6. Хорошие тепловые свойства
7. Низкий модуль упругости